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LAUDA-Noah POU熱電工藝過程恒溫器:-20到90C的溫度控制

所屬分類:LAUDA
內(nèi)容摘要:LAUDA-Noah POU熱電工藝過程恒溫器是用在半導(dǎo)體行業(yè),提供從-20到90C的溫度控制 滿足苛刻的工藝過程快速和精確的溫度控制 熱電在線使用(POU)溫度控制系統(tǒng)為等離子刻...
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產(chǎn)品簡介

 

LAUDA-Noah POU熱電工藝過程恒溫器是用在半導(dǎo)體行業(yè),提供從-20到90C的溫度控制

滿足苛刻的工藝過程快速和精確的溫度控制

熱電在線使用(POU)溫度控制系統(tǒng)為等離子刻蝕工藝提供穩(wěn)定的溫度控制。系統(tǒng)動態(tài)地控制靜電卡盤(ESC)的溫度并可以用在任何的刻蝕工藝中。LAUDA-Noah POU熱電溫度控制系統(tǒng)設(shè)計的基礎(chǔ)是基于帕爾帖元件的溫度變化原理。這些原件可以實現(xiàn)快速且準確的溫度控制,滿足了當今生產(chǎn)尺寸越來越小器件的要求。

重要功能

低能耗沒有壓縮機和制冷劑的系統(tǒng)

工業(yè)領(lǐng)域占地小,如果放置到地板下方則沒有占地空間要求

極低的導(dǎo)熱液體填充量

標配附件

帶有手動泵的加液罐

選配附件

可以遠程控制的通信模塊(RS-485通信協(xié)議)

LAUDA-Noah POU在線使用(POU)溫度控制系統(tǒng)與壓縮機系統(tǒng)相比可以節(jié)省最高到90%的能量??蛇x擇安裝在地板下面選項使系統(tǒng)的占地很小,節(jié)省了潔凈室的空間。

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